非接触抵抗マッピングシステム

非接触抵抗マッピングシステム

製品名
非接触抵抗マッピングシステム
Contactless Resistivity Mapping System
型番
EU-p-ut-SCAN
メーカ
Eurorad

製品概要

The EU-r-mt SCAN is a high performance instrument for the characterization of high resistivity semiconductor wafers. It operates without any physical contact with the wafer and no deposited conductive layer on it.