XYナノポジショニングステージ

製品名

XYナノポジショニングステージ

XY Nanopositioning Stage

型番

ANT130XY

メーカ

Aerotech

製品概要

Our ultra-precise ANT130XY stages deliver superior planar performance with excellent geometric characteristics, thanks to an integrated two-axis design.

特長

• Travel：60x60/110x110/160x160mm（指定）
• 分解能：0.5～5nm(min)

FEATURES

• Travel: 60x60/110x110/160x160mm(Specify)
• Resolution: 0.5～5nm(min)